Athlons made in Germany

Tabernakel Reinraum

Das Herzstück jeder Chip-Fabrik ist der Reinraum. Hier arbeiten die durch Intels Fernsehspots bekannt gewordenen "Bunny People" - Ingenieure, die ihren Arbeitsplatz nur in mehr als klinisch reiner Kleidung betreten dürfen.

Im Fall einer Kupfer-Fab wie in Dresden sind die Auflagen zur Reinlichkeit noch einmal doppelt so hoch wie in herkömmlichen Fabs, da die beiden Bereiche "Silizium" und "Kupfer" strikt voneinander getrennt werden müssen. Die Hintergründe zeigt unser Report Kupfer in der Halbleiterfertigung.

Wohl auch deshalb heißt es für Besucher der Fab30 "No go!", wenn es um einen eigenen Blick in den Reinraum geht. Laut AMD ist nicht einmal ein "Aussichtsfenster" im Reinraum auf der dritten Etage des Gebäudes vorgesehen.

Dort jedenfalls befindet sich im Stammgebäude der primäre Reinraum mit 6.400 Quadratmetern Größe, aus dem die von AMD zur Verfügung gestellten Bilder auf dieser Seite stammen. Die komplette Fertigung der Wafer findet dort statt.

Wenn bei Fabs von einem "Reinraum" die Rede ist, meint das in der Regel nur den sogenannten "waffle table". Der Begriff kam in den USA durch die Durchbrüche in den Fußböden zustande, durch welche die Luft abgesaugt wird. Sie erinnern an das Backwerk aus einem Waffeleisen, die "waffle". Neben dem waffle table existieren noch weitere Reinräume, unter anderem zum Auspacken und Reinigen von Maschinen, die auf den waffle table eingesetzt werden sollen. Sie werden dreifach verpackt angeliefert, in verschiedenen Bereichen des Werks enthüllt und nochmals gereinigt. Auch dafür gibt es in der Chip-Produktion einen schönen amerikanischen Euphemismus: Von der kleinsten Gaspumpe bis zum größten Belichter ist jede Funktionseinheit in einer Fab schlicht ein "Tool" - ein Werkzeug eben.

Neben dem primären Reinraum baut AMD in Dresden noch zwei weitere waffle tables, auf denen die schon erwähnte Anbringung der Kontakte auf den Dies stattfinden soll. Mit diesen Erweiterungen sollen die waffle tables der Fab30 dann insgesamt 10.700 Quadratmeter umfassen.