Infineon und AMD entwickeln gemeinsam Masken

Infineon, AMD und DuPont Photomasks werden in Dresden gemeinsam ein neues Maskenzentrum errichten. Die Unternehmen wollen dort lithographische Masken entwickeln und produzieren, mit denen Wafer belichtet werden. Dazu haben sie das Joint Venture Advanced Mask Technology Center (AMTC) gegründet.

Die Kooperationspartner sind zu je einem Drittel am AMTC beteiligt und werden in den nächsten fünf Jahren insgesamt 360 Millionen Euro investieren. Bis Anfang 2003 wollen die Unternehmen einen Gebäudekomplex mit einer Nutzfläche von rund 17.500 Quadratmetern errichten und dort etwa 170 Mitarbeiter beschäftigen. Die Produktion der neuen lithographischen Masken soll in der zweiten Jahreshälfte 2003 beginnen.

Die auf einem Quarz- oder Glassubstrat basierenden Belichtungsmasken sind ein wichtiger Bestandteil bei der Halbleiterfertigung. Sie enthalten ein genaues Abbild des Chips und dienen damit als Vorlage für dessen optische Umsetzung auf den Wafer. Das projizierte Licht (meist UV-Licht) zeichnet dabei das Abbild des Chipdesigns auf die Siliziumscheibe, die wiederum mit einem lichtempfindlichen Photolack beschichtet ist. Der unbelichtete, von der Maske abgedeckte Photolack wird dabei entfernt. Dadurch kann man Strukturen einfräsen oder anderes Material durch Diffusion aufbringen. Die Chips werden dabei Schicht für Schicht gefertigt. Die derzeitige Halbleitergeneration benötigt 25 oder mehr Photoebenen, wobei jede Schicht eine eigene lithographische Maske erfordert.

Infineon betreibt derzeit ein Maskenhaus mit rund 230 Mitarbeitern in München, wird sich aber aus der kompletten Eigenentwicklung von Masken zurückziehen, um die Kosten zu reduzieren. Das Unternehmen wird die Beschäftigten seines Maskenhauses in München kündigen, bietet ihnen aber als Ersatz Arbeitsplätze beim AMTC oder im Infineon-Werk Dresden an.

Weitere Informationen zum Thema bieten die tecCHANNEL-Reports Moderne Halbleitertechnologien, Die Jagd nach dem 15-Nanometer-Transistor und Schnellere Prozessoren mit SOI-Technologie. (jma)