Elpida: DDR2-Speicher in 90 Nanometer

Elpida produziert eigenen Angaben zufolge derzeit bereits im 100-nm-Prozess. Mit dem Schwenk auf 90-Nanometer verspricht sich der Hersteller eine um 20 Prozent größere Ausbeute bei der Produktion. Der 90-nm-Prozess basiert laut Hersteller auf dem gleichen lithographischen Verfahren wie die 100-nm-Produktion.

Die Verkleinerung schafft Elpida mittels Optical Proximity Correction, einem Verfahren, das unter anderem optische Streuungen bei der Produktion eingrenzt. Diese Fehlerkorrektur nutzt Elpida für kleinere Strukturen. Die Produktion soll dank der teilweise schon bewährten 100-nm-Technologie mit geringen Verlusten möglich sein. Der Hersteller vergleicht die Verlustrate mit derjenigen der 100-Nanometer-Technologie, ohne sie zu beziffern.

Derzeit gilt selbst die Beherrschung des 110-nm-Prozesses noch als Herausforderung, der noch nicht die gewünschte Ausbeute liefert, wir berichteten. Elpida verwendet zudem neue Materialien für die Kontakte der Speicherchips. Ausführliche Informationen zum Thema entnehmen Sie dem Artikel Arbeitsspeicher: Die neuen Standards im Überblick. (uba)