Center für nanoelektronische Technologien in Dresden eröffnet

Der Sprung von der Mikro- zur Nanoelektronik ist eine große Herausforderung für die Halbleiterindustrie. Am Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT in Dresden sollen Wissenschaft und Wirtschaft in Public Private Partnership gemeinsam neue Prozesstechnologien für die Nanoelektronik entwickeln .

Am 31. Mai 2005 fand die feierliche Eröffnung mit Gästen von Bund, dem Freistaat Sachsen, der Wissenschaft und Wirtschaft statt. Das CNT soll die Kompetenzen des Fraunhofer-Verbunds Mikroelektronik gemeinsam mit führenden Halbleiterherstellern in der Technologieentwicklung erweitern. So ist das CNT Teil der europäischen Initiative ENIAC (European Nanoelectronic Initiative Advisory Council) zur Stärkung der Nanoelektronik.

Im August des vergangenen Jahres hatten die Partner - Fraunhofer-Gesellschaft, Infineon Technologies AG und Advanced Micro Devices Inc. (AMD) und die Förderer Bundesforschungsministerium sowie der Freistaat Sachsen - die Absichtserklärung zur Gründung des Fraunhofer CNT unterschrieben. Nach nur neun Monaten wurde das CNT nun feierlich eröffnet. "Für das CNT stehen auf dem Dresdner Fertigungsgelände von Infineon 800 m² Reinraumfläche sowie eine Infrastruktur, die Industriestandard entspricht, zur Verfügung", freut sich Dr. Peter Kücher, der Leiter des CNT.

Ziel ist es, die Synergien zwischen Forschung, Entwicklung und Fertigung von Prozesstechnologien für die Nanoelektronik am Standort Dresden maximal zu nutzen. Die Halbleiterhersteller stehen derzeit vor der Herausforderung, die Strukturen bis unter 50 Nanometer weiter zu verkleinern und diese Innovationen schnell in die Fertigung zu implementieren.

Nanoelektronische Technologien würden zu einer umfassenden Basistechnologie und Dresden böte in Deutschland mit der laufenden 300-mm-DRAM-Fertigung der Infineon AG und den beiden Mikroprozessor-Fabs von AMD ausgezeichnete Standortbedingungen für eine partnerschaftlich betriebene Forschungsplattform für Nanoelektronik. In den Reinräumen des CNT können die Industriepartner Infineon und AMD zusammen mit Fraunhofer-Forschern, der TU Dresden und weiteren Instituten Prozesstechnologien für die Fertigung der Nanoelektronik entwickeln.

Das CNT sei offen für die Zusammenarbeit mit Material- und Geräteherstellern. Insgesamt investieren Unternehmen und Staat zusammen erneut 700 Mio Euro in den Ausbau des Nanoelektronikstandorts Deutschland. Ein Drittel dieser Mittel stammen vom Bund, dem Land und der EU. Neben den Gebäudekosten unterstützen das BMBF und der Freistaat Sachsen die neue Fraunhofer-Einrichtung in den nächsten fünf Jahren mit Zuschüssen von insgesamt 80 Mio Euro für die Anlagen Erstausstattung. Die Industriepartner planen in diesem Zeitraum Forschungsprojekte von rund 170 Mio Euro, die vom BMBF, dem Freistaat Sachsen und der EU-Kommision mit 85 Mio Euro gefördert werden. (mec)

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