Blue-Chip: 0,15-Mikron-DRAMs mit Hausmitteln

Hynix/LG Semiconductor wollen mit einer neuen Fertigungstechnik für 0,15-Mikron-DRAMs die Produktionskosten extrem senken. Das Revolutionäre an der Technik (Codename Blue Chip) ist der Einsatz herkömmlicher Methoden für den Die-Shrink.

Hynix, ein Ableger von Hyundai, gibt nur wenige Details zur 0,15µ-Technik bekannt. Es sei bei der Blue-Chip-Technologie gelungen, den 0,18-Micron-Wolfram-Prozess von LG Semion mit Hyundais High-Speed-DRAM-Technologie zu verbinden. Hynixund LG Semion haben vor zwei Jahren fusioniert.

Statt neuer aufwändiger Verfahren, die üblicherweise mit der Einführung von kleineren Strukturbreiten einhergehen, könne man die vorhandenen Stepper nutzen. Laut Hynix lässt sich so mit bestehenden 248-nm-Steppern die kritische Marke von 0,18 Mikron unterschreiten. Gleichzeitig kann die ebenfalls vorhandene Wolfram-Technologie zur Kontaktierung verwendet werden.

Derzeit sei man dabei, die Technik in drei koreanische Fabs zu implementieren. Bis Ende des Jahres werde es erste SDRAMs mit 128 MBit und 256 MBit geben. Die Produktivität steigt laut Hynix durch die höhere Ausbeute um das 1,7fache, während die Kosten für die Herstellung um 50 Prozent sinken. Anscheinend ist Blue Chip damit noch nicht ausgereizt, ein Die-Shrink auf 0,14 Mikron soll im Jahr 2002 erfolgen.

Details und Grundlagen zu den Fertigungstechniken lesen Sie im Report Kupfer in der Halbleiterfertigung. Über die Speichertechnologie informieren die Reports DRAM-Speichertypen im Detail und So funktioniert DRAM. (uba)